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ITO導(dǎo)電玻璃

補(bǔ)充:0  瀏覽:11465  發(fā)布時(shí)間:2012-4-19

   


  ITO導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上,利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱ITO)膜加工制作成的。液晶顯示器專用ITO導(dǎo)電玻璃,還會(huì)在鍍ITO層之前,鍍上一層二氧化硅阻擋層,以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內(nèi)液晶里擴(kuò)散。高檔液晶顯示器專用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進(jìn)行拋光處理,以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器專用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃,所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此,最終的液晶顯示器都會(huì)沿浮法方向,規(guī)律的出現(xiàn)波紋不平整情況。
  在濺鍍ITO層時(shí),不同的靶材與玻璃間,在不同的溫度和運(yùn)動(dòng)方式下,所得到的ITO層會(huì)有不同的特性。一些廠家的玻璃ITO層常常表面光潔度要低一些,更容易出現(xiàn)“麻點(diǎn)”現(xiàn)象;有些廠家的玻璃ITO層會(huì)出現(xiàn)高蝕間隔帶,ITO層在蝕刻時(shí),更容易出現(xiàn)直線放射型的缺劃或電阻偏高帶;另一些廠家的玻璃ITO層則會(huì)出現(xiàn)微晶溝縫。
ITO導(dǎo)電層的特性
  ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下,氧化銦透過率高,氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng),液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導(dǎo)電玻璃。由于ITO具有很強(qiáng)的吸水性,所以會(huì)吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而變質(zhì),俗稱“霉變”,因此在存放時(shí)要防潮。
  ITO層在活性正價(jià)離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng),形成其它導(dǎo)電和透過率不佳的反應(yīng)物質(zhì),所以在加工過程中,盡量避免長(zhǎng)時(shí)間放在活性正價(jià)離子溶液中。ITO層由很多細(xì)小的晶粒組成,晶粒在加溫過程中會(huì)裂變變小,從而增加更多晶界,電子突破晶界時(shí)會(huì)損耗一定的能量,所以ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會(huì)隨著溫度的升高,電阻也增大。
ITO導(dǎo)電玻璃的分類
  ITO導(dǎo)電玻璃按電阻分,分為高電阻玻璃(電阻在150~500歐姆)、普通玻璃(電阻在60~150歐姆)、低電阻玻璃(電阻小于60歐姆)。高電阻玻璃一般用于靜電防護(hù)、觸控屏幕制作用;普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾;低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線路板。
  ITO導(dǎo)電玻璃按尺寸分,有14”x14”、14”x16”、20”x24”等規(guī)格;按厚度分,有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規(guī)格,厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶顯示器產(chǎn)品。
  ITO導(dǎo)電玻璃按平整度分,分為拋光玻璃和普通玻璃。
影響ITO玻璃性能的主要參數(shù)  長(zhǎng)度、寬度、厚度及允差(±0.20)
  垂直度(≤0.10%)
  翹曲度(厚度0.7mm以上≤0.10%,厚度0.55mm以下≤0.15%)
微觀波紋度
  倒邊C倒邊(0.05mm≤寬度≤0.40mm)R倒邊(0.20mm≤寬度≤1.00mm,曲率半徑≤50mm)倒角(浮法方向2.0mmX5.0mm;其余1.5mmx1.5mm)SIO2阻擋層厚度(350埃±50埃,550nm透過率≥90%)ITO層光學(xué)、電學(xué)、蝕刻性能(蝕刻液:600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3)
化學(xué)穩(wěn)定性
  耐堿為浸入600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過10%。耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過10%。耐溶劑為在250C、丙酮、無水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后,ITO層方塊電阻變化值不超過10%。附著力:在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下,膜層無損傷;或連撕三次后,ITO層方塊電阻變化值不超過10%。熱穩(wěn)定性:在3000C的空氣中,加熱30分鐘后,ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%。
外觀質(zhì)量
  裂紋:不允許。粘附物:包括塵粒、玻璃碎等凸起物,TN型ITO導(dǎo)電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.1mm的粘附物;STN型ITO導(dǎo)電玻璃鍍膜面不允許有不可去除的高度超過0.05mm的粘附物。沾污:不可有不溶于水或一般清洗劑無法除去的沾污。崩邊:長(zhǎng)X寬≤2.0mmx1.0mm;深度不超過玻璃基片厚度的50%;總長(zhǎng)度≤總邊長(zhǎng)的5%。劃痕
  玻璃體點(diǎn)狀缺陷:包括氣泡、夾雜物、表面凹坑、異色點(diǎn)等。點(diǎn)狀缺陷的直徑定義為:d=(缺陷長(zhǎng)+缺陷寬)/2。
  玻璃體線狀缺陷(寬度W):包括玻筋、光學(xué)變形。
  膜層點(diǎn)狀缺陷:SIO2阻擋層和ITO導(dǎo)電層的點(diǎn)狀缺陷包括針孔、空洞、顆粒等,點(diǎn)狀缺陷的直徑定義為:d=(缺陷長(zhǎng)+缺陷寬)/2。
測(cè)試方法及判定標(biāo)準(zhǔn)
尺寸:
  A、測(cè)試方法:用直尺和游標(biāo)卡尺測(cè)量待測(cè)玻璃原片的長(zhǎng)度、寬度、厚度。
  B、判定標(biāo)準(zhǔn):測(cè)量結(jié)果在供貨商所提供的參數(shù)范圍之內(nèi)為合格。
面電阻:
  A、測(cè)試方法:把待測(cè)試玻璃整個(gè)區(qū)域做為測(cè)試區(qū)域,然后測(cè)試區(qū)域分成九等份后再用四探針測(cè)試儀分別測(cè)試各區(qū)域的面電阻。
  B、判定標(biāo)準(zhǔn):根據(jù)測(cè)試結(jié)果計(jì)算出電阻平均值及電阻資料分散值,結(jié)果在要求范圍內(nèi)既是合格。
ITO層溫度性能
  A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片在3000C的空氣中,加熱30分鐘,測(cè)試其加溫前后的同一點(diǎn)面電阻阻值。B、判定標(biāo)準(zhǔn):ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%為合格。
蝕刻性能:
  A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片放入生產(chǎn)線所用的蝕刻液中測(cè)試其蝕刻完全的時(shí)間。
  B、判定標(biāo)準(zhǔn):蝕刻完全的時(shí)間值小于生產(chǎn)工藝所設(shè)定時(shí)間的一半值為合格。
ITO層耐堿性能
  A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃原片放在600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后,測(cè)試其浸泡前后的同一點(diǎn)面電阻阻值。
  B、判定標(biāo)準(zhǔn):ITO層方塊電阻變化值不超過10%為合格。
光電性能與可靠性:
  A、測(cè)試方法:把待測(cè)玻璃與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃按現(xiàn)生產(chǎn)工藝參數(shù),選擇一型號(hào)制作成成品并測(cè)試其光電與可靠性性能;
  B、判定標(biāo)準(zhǔn):光電性能與可靠性測(cè)試結(jié)果與現(xiàn)生產(chǎn)用玻璃結(jié)果相當(dāng),并在測(cè)試產(chǎn)品型號(hào)要求范圍之內(nèi)。
  C、一般來講,ITO玻璃耐堿性能良好。

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